Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

• Main Author: Navrátil, Jaroslav (Dissertant)
• Other Authors: Urbánek, Michal (Thesis advisor)
• Format: Manuscript
• Language: Czech
• Published: 2020
• Subjects: Elektronová litografie; polymerní rezist; proces vyvolání; kontrast rezistu; optická mikroskopie; mechanická profilometrie; AFM; Electron-beam lithography; polymer resist; process of resist development; contrast of resist; optical microscopy; mechanical profilometry; bakalářská práce
• Physical Description: 56 s.