Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

• Main Author: Kotěna, Jan (Dissertant)
• Other Authors: Minařík, Antonín (Thesis advisor)
• Format: Manuscript
• Language: Czech
• Published: 2014
• Subjects: teplotní spád; křemík; anizotropní leptání; KOH; AFM; SEM; prvková analýza; temperature gradient; silicon; anisotropic etching; element analysis; diplomová práce
• Physical Description: 108 s. (115 463 znaků)