Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author	Kotěna, Jan (Dissertant)
Other Authors	Minařík, Antonín (Thesis advisor)
Format	Manuscript Book
Language	Czech
Published	2014
Subjects	teplotní spád křemík anizotropní leptání KOH AFM SEM prvková analýza temperature gradient silicon anisotropic etching element analysis diplomová práce
Online Access	Plný text v Digitální knihovně UTB
Physical Description	108 s. (115 463 znaků)

Online Access

Plný text v Digitální knihovně UTB