Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření

• Main Author: Šuranský, Martin (Dissertant)
• Other Authors: Sedláček, Tomáš (Thesis advisor)
• Format: Manuscript
• Language: Czech
• Published: 2012
• Subjects: plazma; plazmatické technologie; tenké vrstvy; zdroje atmosférického plazmatu; Plasma; Plasma technology; Thin layers; Atmospheric plasma sources; bakalářská práce
• Physical Description: 65 s. (97 780 znaků)