Scaling issues and design of MEMS

• Main Author: Baglio, S.
• Other Authors: Castorina, Salvatore, Savalli, Nicol
• Format: Book
• Language: English
• Published: Chichester : John Wiley, 2007
• Subjects: mikroelektronika; Obecná mechanika. Mechanika pevných a tuhých těles; mikroelektromechanika; elektronické knihy
• ISBN: 9780470034071; 9780470016992; 047001699X
• Physical Description: xiii, 229 s. : il. ; 24 cm.