带逆流进气结构的微型氦离子化检测器研究

基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计并制作了带有逆流进气结构的微型氦离子化检测器.稳态流场仿真结果表明,逆流进气结构在激发电极对之间形成一个高气压的"准零流速区",即激发电极之间包含高密度的稳定的氦原子,这有利于激发稳定的氦等离子体,避免了等离子体抖动造成的基线噪声.所制作的微型氦离子化检测器的测试结果表明,在由逆流进气结构所形成的高气压的"准零流速区"内激发并形成了稳定的氦等离子体区,与瞬态等离子体仿真结果一致,并且基线噪声低于6μV.采用商业JN.SE-30色谱柱,此检测器成功检测到了体积...

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Published in分析化学 Vol. 49; no. 11; pp. 1816 - 1823
Main Authors 刘启勇, 冯飞, 陈泊鑫, 赵阳洋, 赵斌
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海200050 2021
中国科学院大学,北京100049%中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海200050
Subjects
氦离子化检测器;逆流进气结构;微型气相色谱;微机电系统
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ISSN0253-3820
DOI10.19756/j.issn.0253-3820.210470

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Summary:基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计并制作了带有逆流进气结构的微型氦离子化检测器.稳态流场仿真结果表明,逆流进气结构在激发电极对之间形成一个高气压的"准零流速区",即激发电极之间包含高密度的稳定的氦原子,这有利于激发稳定的氦等离子体,避免了等离子体抖动造成的基线噪声.所制作的微型氦离子化检测器的测试结果表明,在由逆流进气结构所形成的高气压的"准零流速区"内激发并形成了稳定的氦等离子体区,与瞬态等离子体仿真结果一致,并且基线噪声低于6μV.采用商业JN.SE-30色谱柱,此检测器成功检测到了体积浓度为0.0001％的甲苯和乙苯,证明其具有较低的检出限.
ISSN:0253-3820
DOI:10.19756/j.issn.0253-3820.210470