DISTURBANCE COMPENSATION FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICES

Charged particle beam devices, e.g., for repair tasks, are subject to disturbances. A sensor output of one or more sensors is used to compensate the disturbances, e.g., while executing a manipulation mode for repairing defects on a lithography mask. Des dispositifs à faisceau de particules chargées,...

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Main Authors KRUGMANN, Andreas, REIN, Benjamin, PLOEGER, Daniel, BUDACH, Michael
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 17.07.2025
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:Charged particle beam devices, e.g., for repair tasks, are subject to disturbances. A sensor output of one or more sensors is used to compensate the disturbances, e.g., while executing a manipulation mode for repairing defects on a lithography mask. Des dispositifs à faisceau de particules chargées, par exemple, pour des tâches de réparation, sont soumis à des perturbations. Une sortie de capteur d'un ou de plusieurs capteurs est utilisée pour compenser les perturbations, par exemple, tout en exécutant un mode de manipulation pour réparer des défauts sur un masque de lithographie.
Bibliography:Application Number: WO2024EP50592