ADHESION LAYERS IN NANOIMPRINT LITHOGRAPHY

• Main Authors: SELINIDIS, KOSTA, S, XU, FRANK, Y, LABRAKE, DWAYNE, L, YE, ZHENGMAO
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.11.2011
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; HOLOGRAPHY; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MATERIALS THEREFOR; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TRANSPORTING

Forming an adhesive layer on a nanoimprint lithography template or a double-sided disk. Forming the adhesive layer on the double-sided disk includes immersing the double-sided disk in a liquid adhesive composition and removing the double-sided disk from the adhesive composition. The outer layer of the double-sided disk is a carbon overcoating or an intermediate layer. The adhesive composition is dried to form a first adhesion layer adhered directly to the carbon overcoating or intermediate layer on a first side of the disk and a second adhesion layer adhered directly to the carbon overcoating or intermediate layer on a second side of the disk. Forming the adhesive layer on the nanoimprint lithography template includes applying an adhesive material to the template, allowing the template to remain motionless, and rinsing a portion of the adhesive material from the template with a solvent, and drying the template. La présente invention concerne la formation d'une couche adhésive sur un patron de lithographie par nano-impression ou un disque double face. La formation de la couche adhésive sur le disque double face consiste à immerger le disque double face dans une composition adhésive liquide et à retirer le disque double face de la composition adhésive. La couche externe du disque double face est un revêtement en carbone ou une couche intermédiaire. La composition adhésive est séchée afin de former une première couche d'adhésion collée directement sur le revêtement en carbone ou la couche intermédiaire sur une première face du disque et une seconde couche d'adhésion collée directement sur le revêtement en carbone ou la couche intermédiaire sur une seconde face du disque. La formation de la couche adhésive sur le patron de lithographie par nano-impression consiste à appliquer un matériau adhésif sur le patron, permettre au patron de rester immobile et éliminer une partie du matériau adhésif du patron avec un solvant, et sécher le patron.