HIGH RELIABILITY, LONG LIFETIME, NEGATIVE ION SOURCE

음이온 소스는 플라즈마 챔버, 마이크로파 소스, 음이온 전환기, 자기 필터 및 빔 형성 기구를 포함한다. 플라즈마 챔버는 이온화될 가스를 함유한다. 마이크로파 소스는 마이크로파를 플라즈마 챔버로 투과시켜 고열 중성 원자들을 포함하는 원자 종으로 가스를 이온화한다. 음이온 전환기는 고열 중성 원자들을 음이온들로 전환시킨다. 자기 필터는 플라즈마 챔버와 음이온 전환기 사이에 제공된 전자 밀도의 온도를 감소시킨다. 빔 형성 기구는 음이온들을 추출한다. A negative ion source includes a plasma chamber,...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors LEE JIN W, RADEL ROSS F, KOBERNIK ARNE V, SWANSON DANIEL J, MEANEY KEVIN D, SENGBUSCH EVAN R, CAMPBELL LOGAN D, SEYFERT CHRISTOPHER M, GRIBB TYE T, RISLEY ERIC D, SHERMAN JOSEPH D, BARROWS PRESTON J
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 16.05.2016
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:음이온 소스는 플라즈마 챔버, 마이크로파 소스, 음이온 전환기, 자기 필터 및 빔 형성 기구를 포함한다. 플라즈마 챔버는 이온화될 가스를 함유한다. 마이크로파 소스는 마이크로파를 플라즈마 챔버로 투과시켜 고열 중성 원자들을 포함하는 원자 종으로 가스를 이온화한다. 음이온 전환기는 고열 중성 원자들을 음이온들로 전환시킨다. 자기 필터는 플라즈마 챔버와 음이온 전환기 사이에 제공된 전자 밀도의 온도를 감소시킨다. 빔 형성 기구는 음이온들을 추출한다. A negative ion source includes a plasma chamber, a microwave source, a negative ion converter, a magnetic filter and a beam formation mechanism. The plasma chamber contains gas to be ionized. The microwave source transmits microwaves to the plasma chamber to ionize the gas into atomic species including hyperthermal neutral atoms. The negative ion converter converts the hyperthermal neutral atoms to negative ions. The magnetic filter reduces a temperature of an electron density provided between the plasma chamber and the negative ion converter. The beam formation mechanism extract the negative ions.
Bibliography:Application Number: KR20167003453