ALIGNMENT METHOD FOR HIGH RESOLUTION OPTICAL SYSTEM TO MINIMIZE THE PERFORMANCE OF EACH OPTICAL FIELD

• Main Authors: LEE, YUN WOO, YANG, HO SOON, KIM, YUN JONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.11.2015
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

The present invention provides a method for aligning an optical system and an alignment device therefor. The method for aligning an optical system comprises the steps of: calculating a sensitivity matrix of an optical aligner system; selecting a compensator of the optical aligner system; measuring a measurement wavefront error expressed with a Zernike coefficient in the optical aligner system by using an interferometer; generating a prediction wavefront error by adding the measurement wavefront error to a product of the sensitivity matrix and a variation of the compensator; setting a prediction root mean square wavefront error (prediction rms WEE) based on a field by using a higher order prediction wavefront error except the predetermined Zernike coefficient regarding a slope and a focus movement of the interferometer among the prediction wavefront error; setting the prediction rms WEE as an initial setting root mean square wavefront error to have a constant predetermined value off axis; and calculating an optimized variation of the compensator satisfying the initial setting root mean square wavefront error. The variation of the compensator is calculated by a difference between an initial location and a predicted location. 본 발명은 광학계 정렬 방법 및 광학계 정렬 장치를 제공한다. 이 광학계 정렬 방법은 정렬 광학계의 민감도 행렬을 계산하는 단계; 상기 정렬 광학계의 보상자(compensator)를 선정하는 단계; 상기 정렬 광학계에서 제르니케 계수로 표시된 측정 파면오차를 간섭계를 통하여 측정하는 단계; 상기 민감도 행렬과 상기 보상자의 변동의 곱(product)에 상기 측정 파면오차를 더하여 예측 파면오차를 생성하는 단계; 상기 예측 파면오차 중에서 상기 간섭계의 기울기와 초점이동에 관련한 소정의 제르니케 계수를 제외한 고차 예측 파면오차를 이용하여 예측 제곱평균제곱근 파면오차(prediction root mean square wavefront error;prediction rms WEE)를 시야(field)별로 설정하는 단계; 상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차를 비축(off-axis)에서 일정한 설정값을 가지도록 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차로 설정하는 단계; 및 상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차를 만족하는 최적화된 보상자의 변동을 산출하는 단계;를 포함한다. 상기 보상자의 변동은 초기 위치와 예측 위치의 차이로 주어진다.