新型射线折射透镜

• Published in: Hé jìshu Vol. 48
• Main Authors: 鲁 同所, 黄 国良, 任 祖洋, 徐 源泽, 张 耀武, 刘 静, 张 伟伟, 黄 其煜, 徐 剑, 童 振, 杨 兴, 林 鹤
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: Science Press 01.09.2025
• Subjects: X射线; 制造工艺; 变焦透镜; 复合折射透镜
• ISSN: 0253-3219
• DOI: 10.11889/j.0253-3219.2025.hjs.48.240487

以低发射度、高亮度和高相干性为特征的第四代同步辐射光源和硬X射线自由电子激光器为X射线光学器件提出了更高的要求，同时也带来了新的发展机遇。本文探讨了基于折射原理的X射线透镜，包括复合折射透镜（Compound Refractive Lenses，CRL）、Kinoform透镜、OVAL透镜及OVAL-Kinoform透镜，回顾了阿尔瓦雷斯变焦X射线透镜（Alvarez varifocal X-Rays Lens，AXL）和锯齿型X射线折射透镜（Saw-tooth X-ray Refractive Lens，SRL）研究的最新进展。重点分析了这些透镜在减少像差和材料吸收方面取得的显著突破，同时介绍了两种不同设计思路的新型相位板，这些相位板可与透镜配合使用，进一步优化了光学性能。最后，本文详细概述了几种先进制造技术，包括基于超精密加工的压印技术、双光子聚合、LIGA（Lithografie，Galvanoformung，Abformung）工艺、半导体蚀刻和飞秒激光加工，重点讨论了这些技术在实现复杂微纳结构及提高X射线折射聚焦透镜制造精度方面的应用。