(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究

TB383.2; 采用射频(RF)和单极中频直流脉冲磁控溅射方法,在玻璃基板上制备了(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜,并研究了调制周期数对其结构及透光导电性能的影响.通过X射线衍射、拉曼光谱、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱以及霍尔效应测试结果表明:(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜以(002)取向的纤锌矿型ZnO结构为主,具有明确的成分调制结构,各Ti层和各ZnO层厚度均匀连续,各界面平整且无明显扩散.在可见光范围的平均透光率大于85％,电阻率最小可达到2.63×10-2Ω·cm....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in人工晶体学报 Vol. 50; no. 8; pp. 1478 - 1484
Main Authors 牛犇, 吴隽, 王凯丰, 黄成斌, 付豪, 祝柏林, 李涛涛, 姚亚刚
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 武汉科技大学材料与冶金学院,省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室,武汉 430081%武汉科技大学材料与冶金学院,省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室,武汉 430081 01.08.2021
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123%中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123
Subjects
磁控溅射;(Ti/ZnO)N;调制周期数;透光率;电性能
Online AccessGet full text
ISSN1000-985X
DOI10.3969/j.issn.1000-985X.2021.08.013

Cover

More Information
Summary:TB383.2; 采用射频(RF)和单极中频直流脉冲磁控溅射方法,在玻璃基板上制备了(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜,并研究了调制周期数对其结构及透光导电性能的影响.通过X射线衍射、拉曼光谱、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱以及霍尔效应测试结果表明:(Ti/ZnO)N成分调制纳米多层膜以(002)取向的纤锌矿型ZnO结构为主,具有明确的成分调制结构,各Ti层和各ZnO层厚度均匀连续,各界面平整且无明显扩散.在可见光范围的平均透光率大于85％,电阻率最小可达到2.63×10-2Ω·cm.
ISSN:1000-985X
DOI:10.3969/j.issn.1000-985X.2021.08.013