萘酚基酚醛树脂的合成及其在lift-off光刻胶中的应用

首先以α-萘酚、间甲酚、甲醛为单体,通过缩聚反应合成了萘酚基酚醛树脂NAPR,随后与二碳酸二叔丁酯(DBDC)反应制备了一系列t-BOC改性的萘酚基酚醛树脂NAPR-BOC.用红外(FT-IR)、核磁(1H NMR)、凝胶色谱(GPC)、热失重分析(TGA)对其结构及性能进行了表征.以NAPR-BOC-2为基体树脂配制成lift-off光刻胶,测试了光刻胶的分辨率、形貌和耐热性,得到的光刻胶分辨率最大为0.6 μm,耐热可达130℃....

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Published in影像科学与光化学 Vol. 38; no. 4; pp. 609 - 614
Main Authors 孙小侠, 司树伟, 郑祥飞, 刘敬成, 穆启道
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 江南大学化学与材料工程学院,江苏无锡214122 01.07.2020
苏州瑞红电子化学品有限公司,江苏苏州215124%江南大学化学与材料工程学院,江苏无锡,214122%苏州瑞红电子化学品有限公司,江苏苏州,215124
Subjects
α-萘酚
酚醛树脂
lift-off
NAPR-BOC
正性光刻胶
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ISSN1674-0475
DOI10.7517/issn.1674-0475.200306

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Summary:首先以α-萘酚、间甲酚、甲醛为单体,通过缩聚反应合成了萘酚基酚醛树脂NAPR,随后与二碳酸二叔丁酯(DBDC)反应制备了一系列t-BOC改性的萘酚基酚醛树脂NAPR-BOC.用红外(FT-IR)、核磁(1H NMR)、凝胶色谱(GPC)、热失重分析(TGA)对其结构及性能进行了表征.以NAPR-BOC-2为基体树脂配制成lift-off光刻胶,测试了光刻胶的分辨率、形貌和耐热性,得到的光刻胶分辨率最大为0.6 μm,耐热可达130℃.
ISSN:1674-0475
DOI:10.7517/issn.1674-0475.200306