大尺寸YVO4晶体的自动控径提拉法生长

O78; 本文报道了在自动控制直径条件下大尺寸YVO4晶体的提拉法生长研究.利用改进的上称重法生长大尺寸YVO4晶体,在提拉法单晶生长过程中,晶体扩肩部分采用斜率积分模式,转肩部分采用斜率积分过渡到直径积分模式,等径部分采用直径积分模式,应用这种分段控制方式成功地实现了YVO4晶体的自动化生长.采用4台50型自动化生长炉对YVO4晶体自动化生长工艺进行了长达一年的可靠性验证,预设技术目标为晶体直径大于40 mm,等径部分长度大于30 mm,B级晶体质量达80％以上,采用自动控制方法生长晶体毛坯共计138个,晶体直径达标率为99.3％,等径部分长度达标率为53.6％,晶体生长良品率为88.4％....

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Published in人工晶体学报 Vol. 50; no. 2; pp. 248 - 252
Main Authors 曾宪林, 陈伟, 张星, 陈秋华
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 福建福晶科技股份有限公司,福州 350003 01.02.2021
Subjects
自动控制直径
YVO4晶体
提拉炉
直径积分模式
斜率积分模式
可靠性验证
改进的上称重提拉法
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ISSN1000-985X

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Summary:O78; 本文报道了在自动控制直径条件下大尺寸YVO4晶体的提拉法生长研究.利用改进的上称重法生长大尺寸YVO4晶体,在提拉法单晶生长过程中,晶体扩肩部分采用斜率积分模式,转肩部分采用斜率积分过渡到直径积分模式,等径部分采用直径积分模式,应用这种分段控制方式成功地实现了YVO4晶体的自动化生长.采用4台50型自动化生长炉对YVO4晶体自动化生长工艺进行了长达一年的可靠性验证,预设技术目标为晶体直径大于40 mm,等径部分长度大于30 mm,B级晶体质量达80％以上,采用自动控制方法生长晶体毛坯共计138个,晶体直径达标率为99.3％,等径部分长度达标率为53.6％,晶体生长良品率为88.4％.本文还讨论了影响晶体等径部分长度达标率的若干工艺因素.
ISSN:1000-985X