APA (7th ed.) Citation

徐星宇, 李早阳, 史睿菁, 罗金平, 王成君, 李安华, . . . 张辉. (2024). 晶圆键合台温度均匀性提升研究. 西安交通大学学报, 58(11), 119-127. https://doi.org/10.7652/xjtuxb202411011

Chicago Style (17th ed.) Citation

徐星宇, 李早阳, 史睿菁, 罗金平, 王成君, 李安华, 薛志平, 张慧, and 张辉. "晶圆键合台温度均匀性提升研究." 西安交通大学学报 58, no. 11 (2024): 119-127. https://doi.org/10.7652/xjtuxb202411011.

MLA (9th ed.) Citation

徐星宇, et al. "晶圆键合台温度均匀性提升研究." 西安交通大学学报, vol. 58, no. 11, 2024, pp. 119-127, https://doi.org/10.7652/xjtuxb202411011.