一维光子晶体无序膜厚扰动的分析及优化

O434.13; 基于一维周期性光子晶体模型,引入服从高斯分布的无序扰动,形成周期性无序扰动的薄膜模型,研究膜厚微扰对纳米光子器件性能的影响.通过分析周期数和两种材料厚度对光学特性的影响,提出在周期性光子晶体中,同一个周期内一种材料的厚度误差可用另一种材料的厚度来弥补,从而得到稳定的禁带中心位置和禁带宽度.理论和实验结果均验证了此补偿方案可以削减相关厚度偏差的累积,同时降低制备精度要求,减小实验值和理论值的偏差....

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Published in深圳大学学报（理工版） Vol. 37; no. 1; pp. 44 - 50
Main Authors 赵晓丹, 王同林, 张明达, 杨毅彪
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 太原理工大学物理与光电工程学院,山西太原,030024%太原理工大学物理与光电工程学院,山西太原030024 30.01.2020
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024
Subjects
膜厚微扰
透射谱
光学
传输矩阵法
磁控溅射
一维光子晶体
随机误差
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ISSN1000-2618
DOI10.3724/SP.J.1249.2020.01044

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Summary:O434.13; 基于一维周期性光子晶体模型,引入服从高斯分布的无序扰动,形成周期性无序扰动的薄膜模型,研究膜厚微扰对纳米光子器件性能的影响.通过分析周期数和两种材料厚度对光学特性的影响,提出在周期性光子晶体中,同一个周期内一种材料的厚度误差可用另一种材料的厚度来弥补,从而得到稳定的禁带中心位置和禁带宽度.理论和实验结果均验证了此补偿方案可以削减相关厚度偏差的累积,同时降低制备精度要求,减小实验值和理论值的偏差.
ISSN:1000-2618
DOI:10.3724/SP.J.1249.2020.01044