基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器

TN36; 本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器.该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探测器结构的基础上增加黑硅微结构层,在不影响响应速度的条件下,提高了探测器在近红外波段响应特性.并且针对纵向结构垂直入射PIN光电探测器时量子效率与响应速度相矛盾的问题,提出了解决方案.测试结果表明,该器件的量子效率可达80％,峰值波长为940 nm,光响应度达到0.55 A/W,暗电流降至700 pA,响应时间为200 ns....

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Published in光电工程 Vol. 48; no. 5; pp. 40 - 45
Main Authors 郑泽宇, 罗谦, 徐开凯, 刘钟远, 朱坤峰
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054%中国电子科技集团第四十四研究所,重庆 400060%中国电子科技集团第二十四研究所,重庆 400060 15.05.2021
Subjects
全硅PIN光电探测器
量子效率
光响应度
暗电流
黑硅
响应速度
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ISSN1003-501X
DOI10.12086/oee.2021.200364

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Abstract TN36; 本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器.该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探测器结构的基础上增加黑硅微结构层,在不影响响应速度的条件下,提高了探测器在近红外波段响应特性.并且针对纵向结构垂直入射PIN光电探测器时量子效率与响应速度相矛盾的问题,提出了解决方案.测试结果表明,该器件的量子效率可达80％,峰值波长为940 nm,光响应度达到0.55 A/W,暗电流降至700 pA,响应时间为200 ns.
AbstractList TN36; 本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器.该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探测器结构的基础上增加黑硅微结构层,在不影响响应速度的条件下,提高了探测器在近红外波段响应特性.并且针对纵向结构垂直入射PIN光电探测器时量子效率与响应速度相矛盾的问题,提出了解决方案.测试结果表明,该器件的量子效率可达80％,峰值波长为940 nm,光响应度达到0.55 A/W,暗电流降至700 pA,响应时间为200 ns.
Author 罗谦
刘钟远
朱坤峰
徐开凯
郑泽宇
AuthorAffiliation 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054%中国电子科技集团第四十四研究所,重庆 400060%中国电子科技集团第二十四研究所,重庆 400060
AuthorAffiliation_xml – name: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054%中国电子科技集团第四十四研究所,重庆 400060%中国电子科技集团第二十四研究所,重庆 400060
Author_FL Xu Kaikai
Zhu Kunfeng
Luo Qian
Zheng Zeyu
Liu Zhongyuan
Author_FL_xml – sequence: 1
  fullname: Zheng Zeyu
– sequence: 2
  fullname: Luo Qian
– sequence: 3
  fullname: Xu Kaikai
– sequence: 4
  fullname: Liu Zhongyuan
– sequence: 5
  fullname: Zhu Kunfeng
Author_xml – sequence: 1
  fullname: 郑泽宇
– sequence: 2
  fullname: 罗谦
– sequence: 3
  fullname: 徐开凯
– sequence: 4
  fullname: 刘钟远
– sequence: 5
  fullname: 朱坤峰
BookMark eNrjYmDJy89LZWCQMDTQMzQysDDTz09N1TMyMDIEEgbGZiYsDJyGQIauqYFhBAcDb3FxZpKBgYmRpbmFmTkng8HT-bue7Op7uXvi84WtT_ete7578rN5Lc9ntTxtXQEUCfD0e9ra-XzK1md9i55t7X46cwUPA2taYk5xKi-U5mYIdXMNcfbQ9fF393R29NEtBtpmqmtkmmZskZholJpmaZhokWaaamFukmRkbmKSbGhiaJRqkWianGZhbm6cZG5qZm5gZJScaJJmmJaYZmxmaWBpZGlkzM2gCjG3PDEvLTEvPT4rv7QoD2hjfHpKejLIfwamQIuMAbiZVP8
ClassificationCodes TN36
ContentType Journal Article
Copyright Copyright © Wanfang Data Co. Ltd. All Rights Reserved.
Copyright_xml – notice: Copyright © Wanfang Data Co. Ltd. All Rights Reserved.
DBID 2B.
4A8
92I
93N
PSX
TCJ
DOI 10.12086/oee.2021.200364
DatabaseName Wanfang Data Journals - Hong Kong
WANFANG Data Centre
Wanfang Data Journals
万方数据期刊 - 香港版
China Online Journals (COJ)
China Online Journals (COJ)
DatabaseTitleList
DeliveryMethod fulltext_linktorsrc
DocumentTitle_FL All-silicon PIN photodetector based on black silicon microstructure
EndPage 45
ExternalDocumentID gdgc202105005
GrantInformation_xml – fundername: (国家重点研发计划资助项目); (科技部资助项目); (四川省杰出青年科学基金项目); (四川省科学技术厅资助项目); (四川省科学技术厅资助项目)
  funderid: (国家重点研发计划资助项目); (科技部资助项目); (四川省杰出青年科学基金项目); (四川省科学技术厅资助项目); (四川省科学技术厅资助项目)
GroupedDBID 2B.
4A8
8FE
8FG
92I
93N
ABJCF
ABUWG
AFKRA
ALMA_UNASSIGNED_HOLDINGS
BENPR
BGLVJ
BPHCQ
BVBZV
CCPQU
HCIFZ
L6V
M7S
PHGZM
PHGZT
PIMPY
PMFND
PQQKQ
PROAC
PSX
PTHSS
TCJ
ID FETCH-LOGICAL-s1005-25f38aa2ef91a8f5e874b2744c1412e8a5cf8773b7567022ca4f1faf369092923
ISSN 1003-501X
IngestDate Thu May 29 03:55:49 EDT 2025
IsPeerReviewed true
IsScholarly true
Issue 5
Keywords 全硅PIN光电探测器
量子效率
光响应度
暗电流
黑硅
响应速度
Language Chinese
LinkModel OpenURL
MergedId FETCHMERGED-LOGICAL-s1005-25f38aa2ef91a8f5e874b2744c1412e8a5cf8773b7567022ca4f1faf369092923
PageCount 6
ParticipantIDs wanfang_journals_gdgc202105005
PublicationCentury 2000
PublicationDate 2021-05-15
PublicationDateYYYYMMDD 2021-05-15
PublicationDate_xml – month: 05
  year: 2021
  text: 2021-05-15
  day: 15
PublicationDecade 2020
PublicationTitle 光电工程
PublicationTitle_FL Opto-Electronic Engineering
PublicationYear 2021
Publisher 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054%中国电子科技集团第四十四研究所,重庆 400060%中国电子科技集团第二十四研究所,重庆 400060
Publisher_xml – name: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054%中国电子科技集团第四十四研究所,重庆 400060%中国电子科技集团第二十四研究所,重庆 400060
SSID ssib004297867
ssib023646518
ssib036437391
ssib023167165
ssj0002964646
ssib002258422
ssib001102639
ssib051369860
ssib000459782
Score 2.3099473
Snippet TN36; 本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器.该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探...
SourceID wanfang
SourceType Aggregation Database
StartPage 40
Title 基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器
URI https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/gdgc202105005
Volume 48
hasFullText 1
inHoldings 1
isFullTextHit
isPrint
journalDatabaseRights – providerCode: PRVPQU
  databaseName: ProQuest Technology Collection
  issn: 1003-501X
  databaseCode: 8FG
  dateStart: 20180101
  customDbUrl:
  isFulltext: true
  dateEnd: 99991231
  titleUrlDefault: https://search.proquest.com/technologycollection1
  omitProxy: true
  ssIdentifier: ssj0002964646
  providerName: ProQuest
link http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwtR09b9UwMKrKwoJAgPisOuCpCsROnJxHO8mjYmBqpW5VXkjK9CrRduncDgipEoIFBhBMndi6tBK_htcn_gMDd4774pZKFATSU-R3Od9nEt8l9jkIHmDSoDBqzULVKAiTitchYFYQymaYZG3EK9Xa2RZP08Xl5MmKXJmZ_eHNWtraHD6st89dV_I3XkUY-pVWyf6BZ6dEEYBt9C8e0cN4vJCPWSmZGjCjWZnQEUpWKmYMU5yVGdOcgSQcUzJdEoROxaxMmSoZJARR2jYkYWqY9sJk3wFBWTSkL6kjstCCGvgXjBVAYUc_xj2vI8qAlKWlD9jxxM8kL8RWXiQZM1MQLgrbj49W7oKpjJXATMR02p-xqqnINnKatEGskcXARwFgCoiREmQtojJgKvffdwhOn-q7FZ_2Cj0lui4sD6SbOUlBO2Y6IWCHo9PzeiHz1JoY1Ua759ZV4FylDAGJIDg1rDUtjmEmtRDTW4UgijSEgniBYEa5U8oS1ChY7iAom8gdBWWcD1Sx4PGzxjfFAka3GFQzIZ10uvA4X8QSU1VsL7pCECenn88fpQbuQRAnIuLUUFa5lC4bmo6ae4pKe22nC4mt6_N_pOzun_yfSekN9jQvU0Z2y6ZpNJCA99ST3tDeVRVzQWJXAvWX8ENE9nPoekMFeIV9_RR3RfrPFHVfe7ZWE0YkbQHmSwJjEtp4BgaP_WRL-XtNYKAuUq-GL47EkHjFNzGyzKBPJgTVuOD9HAbaKSKVfSQa0yf7uK-UJXmcKnAvSyiOpQkZabc888RQbp4HqfnojJJ20eOorUZrXny-dDW44hLred09Ja8FM9vPrwfR-OPht8O970evJ592x1-_TI7eHH_YmbzfGe_uIwSfcuPdl5O3B8d7n48PXo3f7d8IlgflUr4Yuj1iwg26M0Ih2xiqSjSt4hW0soEsGVLV05onXDRQybqFLIuHmUwzNFldJS1vqxZ1jTAzFPHNYHa0PmpuBfPDSmQZx-APU76kjaMhryXNI8EckVdxldwO5pyGq24M2Fg95cc7v0O4G1zun2j3gtnNF1vNfcxpNodz1vU_AYJH2TY
linkProvider ProQuest
openUrl ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info%3Aofi%2Fenc%3AUTF-8&rfr_id=info%3Asid%2Fsummon.serialssolutions.com&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rft.genre=article&rft.atitle=%E5%9F%BA%E4%BA%8E%E9%BB%91%E7%A1%85%E5%BE%AE%E7%BB%93%E6%9E%84%E7%9A%84%E5%85%A8%E7%A1%85PIN%E5%85%89%E7%94%B5%E6%8E%A2%E6%B5%8B%E5%99%A8&rft.jtitle=%E5%85%89%E7%94%B5%E5%B7%A5%E7%A8%8B&rft.au=%E9%83%91%E6%B3%BD%E5%AE%87&rft.au=%E7%BD%97%E8%B0%A6&rft.au=%E5%BE%90%E5%BC%80%E5%87%AF&rft.au=%E5%88%98%E9%92%9F%E8%BF%9C&rft.date=2021-05-15&rft.pub=%E7%94%B5%E5%AD%90%E7%A7%91%E6%8A%80%E5%A4%A7%E5%AD%A6%E7%94%B5%E5%AD%90%E8%96%84%E8%86%9C%E4%B8%8E%E9%9B%86%E6%88%90%E5%99%A8%E4%BB%B6%E5%9B%BD%E5%AE%B6%E9%87%8D%E7%82%B9%E5%AE%9E%E9%AA%8C%E5%AE%A4%2C%E5%9B%9B%E5%B7%9D+%E6%88%90%E9%83%BD+610054%25%E4%B8%AD%E5%9B%BD%E7%94%B5%E5%AD%90%E7%A7%91%E6%8A%80%E9%9B%86%E5%9B%A2%E7%AC%AC%E5%9B%9B%E5%8D%81%E5%9B%9B%E7%A0%94%E7%A9%B6%E6%89%80%2C%E9%87%8D%E5%BA%86+400060%25%E4%B8%AD%E5%9B%BD%E7%94%B5%E5%AD%90%E7%A7%91%E6%8A%80%E9%9B%86%E5%9B%A2%E7%AC%AC%E4%BA%8C%E5%8D%81%E5%9B%9B%E7%A0%94%E7%A9%B6%E6%89%80%2C%E9%87%8D%E5%BA%86+400060&rft.issn=1003-501X&rft.volume=48&rft.issue=5&rft.spage=40&rft.epage=45&rft_id=info:doi/10.12086%2Foee.2021.200364&rft.externalDocID=gdgc202105005
thumbnail_s http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/image/custom?url=http%3A%2F%2Fwww.wanfangdata.com.cn%2Fimages%2FPeriodicalImages%2Fgdgc%2Fgdgc.jpg