微金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究

微结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于微结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对微结构切削效果的影响,分析V槽切削时次沟槽产生的条件,研究抑制次沟槽产生方法,实验验证了可以通过控制切削深度大于最小切削深度来抑制次沟槽的产生。...

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Published inGuang Dian Gong Cheng = Opto-Electronic Engineering Vol. 47; no. 8; pp. 190179 - 110
Main Authors 杜丹, 黄岳田, 范斌 / Du Dan, Huang Yuetian, Fan, Bin
Format Journal Article
LanguageChinese
English
Published Chengdu Editorial Office of Opto-Electronic Advances 15.08.2020
北京跟踪与通信技术研究所,北京 100094%中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
中国科学院大学,北京 100049%中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
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ISSN1003-501X
DOI10.12086/oee.2020.190179

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Summary:微结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于微结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对微结构切削效果的影响,分析V槽切削时次沟槽产生的条件,研究抑制次沟槽产生方法,实验验证了可以通过控制切削深度大于最小切削深度来抑制次沟槽的产生。
Bibliography:ObjectType-Article-1
SourceType-Scholarly Journals-1
ObjectType-Feature-2
content type line 14
ISSN:1003-501X
DOI:10.12086/oee.2020.190179