고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO₂ 절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구

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Published inBiuletyn Uniejowski Vol. 35; no. 2; pp. 113 - 121
Main Authors 박태순(T. S. Park), 이성래(S. R. Lee)
Format Journal Article
LanguageKorean
Published 한국표면공학회 01.04.2002
Subjects
기계공학
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ISSN1225-8024
2299-8403
2288-8403

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Bibliography:G704-000261.2002.35.2.005
ISSN:1225-8024
2299-8403
2288-8403