国産球面収差補正電子顕微鏡 R005の開発

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 51; no. 11; pp. 714 - 718
Main Authors 近藤, 行人, 谷城, 康眞, 高柳, 邦夫
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2008
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ISSN1882-2398
1882-4749
DOI10.3131/jvsj2.51.714

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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.51.714