DLC 膜及び CNx 膜の低摩擦機構解明とタンタル含有 DLC 膜の摩擦特性

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 58; no. 6; pp. 209 - 214
Main Authors 野老山, 貴行, 梅原, 徳次
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2015
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ISSN1882-2398
1882-4749
DOI10.3131/jvsj2.58.209

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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.58.209