高分解能オージェ電子-光電子コインシデンス分光,電子-イオンコインシデンス分光兼用装置の開発

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 51; no. 11; pp. 749 - 757
Main Authors 田中, 正俊, 藤田, 斉彦, 間瀬, 一彦, 奥沢, 誠, 橋本, 章吾, 垣内, 拓大
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2008
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ISSN1882-2398
1882-4749
DOI10.3131/jvsj2.51.749

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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.51.749