ウェットブラスト法による高Si含有Al合金のSi相凹凸表面創製

高Si含有Al合金（AC8A）のSi相凹凸表面創製のために，平均粒径1.2 μmのアルミナと純水が混合されたスラリーを投射して，Siウェーハと純Alの投射角度による加工深さの影響を明らかにした．その結果から投射角度を設定し，高Si含有Al合金の投射角度がSi相凹凸表面に及ぼす影響を考察し，エア圧力0.4 MPa，投射距離2 mm，投射回数20回まで加工を行った場合，投射角度30°では投射回数4回以上でSi相の突出した部分が支配的な表面を，投射角度90°では投射回数8回以上でSi相の窪んだ部分が支配的な表面を創製できることがわかった．また，投射距離がSi相凹凸表面に及ぼす影響を考察し，エア圧力0...

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Published in砥粒加工学会誌 Vol. 60; no. 6; pp. 326 - 332
Main Authors 小出, 修平, 宮島, 敏郎, 堀川, 教世
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 社団法人 砥粒加工学会 2016
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ISSN0914-2703
1880-7534
DOI10.11420/jsat.60.326

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Summary:高Si含有Al合金（AC8A）のSi相凹凸表面創製のために，平均粒径1.2 μmのアルミナと純水が混合されたスラリーを投射して，Siウェーハと純Alの投射角度による加工深さの影響を明らかにした．その結果から投射角度を設定し，高Si含有Al合金の投射角度がSi相凹凸表面に及ぼす影響を考察し，エア圧力0.4 MPa，投射距離2 mm，投射回数20回まで加工を行った場合，投射角度30°では投射回数4回以上でSi相の突出した部分が支配的な表面を，投射角度90°では投射回数8回以上でSi相の窪んだ部分が支配的な表面を創製できることがわかった．また，投射距離がSi相凹凸表面に及ぼす影響を考察し，エア圧力0.4 MPa，投射回数20回で加工を行った場合，投射角度30°では投射距離2 mm～6 mmの範囲でSi相の突出した部分が支配的な表面を，投射角度90°では投射距離2 mm～6 mmの範囲でSi相の窪んだ部分が支配的な表面を創製できることがわかった．
ISSN:0914-2703
1880-7534
DOI:10.11420/jsat.60.326