ZnO多結晶薄膜に対するアルゴンイオンスパッタの影響

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Published inJournal of Surface Analysis Vol. 30; no. 3; p. 207
Main Authors 川村, 鮎人, 牧野, 久雄
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人　表面分析研究会 2024
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ISSN1341-1756
1347-8400
DOI10.1384/jsa.30.207

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ISSN:1341-1756
1347-8400
DOI:10.1384/jsa.30.207