X線透視法によるSi融体の対流観察
Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である. Siのみならず溶融金属の対流についても,数値計算によるシミュレーションのみで実験的な理解は行われていないといえる.結晶育成装置にX線透視装置を装着することによリ, Si融体育の対流め観測が初めて可能になった,ここでは,X線透視法とトレーサー法を併用することにより観測したSi融体対流の研究結果について紹分し,数値シミュレーションとの対比, GaAs育成時のB2O3液体封止剤の対流観測結果,および固液界面形状のその場観測結果についても紹...
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| Published in | 応用物理 Vol. 58; no. 9; pp. 1334 - 1339 |
|---|---|
| Main Authors | , , , |
| Format | Journal Article |
| Language | Japanese |
| Published |
公益社団法人 応用物理学会
1989
|
| Online Access | Get full text |
| ISSN | 0369-8009 2188-2290 |
| DOI | 10.11470/oubutsu1932.58.1334 |
Cover
| Abstract | Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である. Siのみならず溶融金属の対流についても,数値計算によるシミュレーションのみで実験的な理解は行われていないといえる.結晶育成装置にX線透視装置を装着することによリ, Si融体育の対流め観測が初めて可能になった,ここでは,X線透視法とトレーサー法を併用することにより観測したSi融体対流の研究結果について紹分し,数値シミュレーションとの対比, GaAs育成時のB2O3液体封止剤の対流観測結果,および固液界面形状のその場観測結果についても紹介する. |
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| AbstractList | Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である. Siのみならず溶融金属の対流についても,数値計算によるシミュレーションのみで実験的な理解は行われていないといえる.結晶育成装置にX線透視装置を装着することによリ, Si融体育の対流め観測が初めて可能になった,ここでは,X線透視法とトレーサー法を併用することにより観測したSi融体対流の研究結果について紹分し,数値シミュレーションとの対比, GaAs育成時のB2O3液体封止剤の対流観測結果,および固液界面形状のその場観測結果についても紹介する. |
| Author | 渡辺, 久夫 日比谷, 孟俊 柿本, 浩一 江口, 実 |
| Author_xml | – sequence: 1 fullname: 柿本, 浩一 organization: 日本電気(株)基礎研究所 – sequence: 1 fullname: 渡辺, 久夫 organization: 日本電気(株)材料開発試作センター – sequence: 1 fullname: 江口, 実 organization: 日本電気(株)基礎研究所 – sequence: 1 fullname: 日比谷, 孟俊 organization: 日本電気(株)基礎研究所 |
| BookMark | eNpNjzFLw0AYhg-pYK39B_6FxO-7yyV3oxS1QsFBBbfjLr1oQ20lSQc320mQ4iA6OOjWRbBDESf9M7E1_gsrFfEZ3nd5eeFZJaVOt2MJWUdwEb0ANro908vSHkpGXS5cZMxbImWKQjiUSiiRMjBfOgJArpBqmsYwhweS86BMnKPP1_uvi-tidDeb3Ob9p3xwmQ-u9lvFw_Dj7SbvP0_H77OXfjGaTMePa2Q50u3UVn-7Qg63tw5qdaext7Nb22w4MUWGTmCFEXM8E2ouQwkB477BJjdNGWnKOGUi8j2LwqBvhAXECDwAyylIC5pVSH3xG6eZPrbqLGmd6uRc6SRrhW2r_ikrLpRcxI_53yQ80YmKNfsGeJRj4w |
| ContentType | Journal Article |
| Copyright | 社団法人 応用物理学会 |
| Copyright_xml | – notice: 社団法人 応用物理学会 |
| DOI | 10.11470/oubutsu1932.58.1334 |
| DatabaseTitleList | |
| DeliveryMethod | fulltext_linktorsrc |
| Discipline | Physics |
| EISSN | 2188-2290 |
| EndPage | 1339 |
| ExternalDocumentID | article_oubutsu1932_58_9_58_9_1334_article_char_ja |
| GroupedDBID | .LE ALMA_UNASSIGNED_HOLDINGS KQ8 RJT |
| ID | FETCH-LOGICAL-j2131-7e8b88884bca59c907356b1d5bd9fa235238f64e18b16b8e011f0400e5209e0a3 |
| ISSN | 0369-8009 |
| IngestDate | Wed Sep 03 06:17:30 EDT 2025 |
| IsDoiOpenAccess | true |
| IsOpenAccess | true |
| IsPeerReviewed | false |
| IsScholarly | true |
| Issue | 9 |
| Language | Japanese |
| LinkModel | OpenURL |
| MergedId | FETCHMERGED-LOGICAL-j2131-7e8b88884bca59c907356b1d5bd9fa235238f64e18b16b8e011f0400e5209e0a3 |
| OpenAccessLink | https://www.jstage.jst.go.jp/article/oubutsu1932/58/9/58_9_1334/_article/-char/ja |
| PageCount | 6 |
| ParticipantIDs | jstage_primary_article_oubutsu1932_58_9_58_9_1334_article_char_ja |
| PublicationCentury | 1900 |
| PublicationDate | 1989 |
| PublicationDateYYYYMMDD | 1989-01-01 |
| PublicationDate_xml | – year: 1989 text: 1989 |
| PublicationDecade | 1980 |
| PublicationTitle | 応用物理 |
| PublicationTitleAlternate | 応用物理 |
| PublicationYear | 1989 |
| Publisher | 公益社団法人 応用物理学会 |
| Publisher_xml | – name: 公益社団法人 応用物理学会 |
| References | 11) S. Chandrasekhar: Hydrodynamic and Hy-dromagnetic Stability, ed. W. Marshall and D. H. Wilkinson (Clarendon Press, Oxford, 1961) p. 9. 4) M. Mihelcic, K. Wingerath and Chr. Pirron: J. Cryst. Growth 69 (1984) 473. 5) W. E. Langlois: J Cryst. Growth 46 (1979) 743. 18) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 91 (1988) 509. 12) D. Coles: Fluid Mech. 21 (1965) 385. 3) 沢田郁夫,田中正博:製鉄研究 37 (1988) 330. 7) K. Hoshikawa: Jpn. J. Appl. Phys. 21 (1982) L 545. 9) G. D. Robertson, Jr. and D. J. O'conner: J. Cryst. Growth 76 (1986) 100. 15) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 94 (1989) 412. 16) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 94 (1989) 405. 13) 柿本浩一,江口, 実,渡辺久夫,日比谷孟俊:日本結晶成長学会誌 15 (1988) 217. 1) 塚本勝男:日本結晶成長学会誌 14 (1987) 116. 2) A. Jones: J. Cryst. Growth 63 (1983) 70. 6) A. Bottaro and A. Zebib: Phys. Fluids 31 (1988) 495. 8) K. Terashima and T. Fukuda: J. Cryst. Growth 63 (1983) 423. 10) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 88 (1988) 365. 14) K. Kakimoto and T. Hibiya: Appl. Phys. Lett. 52 (1988) 1576. 17) T. W. Hicks: J. Cryst. Growth 84 (1978) 598. |
| References_xml | – reference: 18) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 91 (1988) 509. – reference: 4) M. Mihelcic, K. Wingerath and Chr. Pirron: J. Cryst. Growth 69 (1984) 473. – reference: 9) G. D. Robertson, Jr. and D. J. O'conner: J. Cryst. Growth 76 (1986) 100. – reference: 5) W. E. Langlois: J Cryst. Growth 46 (1979) 743. – reference: 8) K. Terashima and T. Fukuda: J. Cryst. Growth 63 (1983) 423. – reference: 13) 柿本浩一,江口, 実,渡辺久夫,日比谷孟俊:日本結晶成長学会誌 15 (1988) 217. – reference: 3) 沢田郁夫,田中正博:製鉄研究 37 (1988) 330. – reference: 6) A. Bottaro and A. Zebib: Phys. Fluids 31 (1988) 495. – reference: 11) S. Chandrasekhar: Hydrodynamic and Hy-dromagnetic Stability, ed. W. Marshall and D. H. Wilkinson (Clarendon Press, Oxford, 1961) p. 9. – reference: 2) A. Jones: J. Cryst. Growth 63 (1983) 70. – reference: 10) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 88 (1988) 365. – reference: 16) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 94 (1989) 405. – reference: 12) D. Coles: Fluid Mech. 21 (1965) 385. – reference: 1) 塚本勝男:日本結晶成長学会誌 14 (1987) 116. – reference: 14) K. Kakimoto and T. Hibiya: Appl. Phys. Lett. 52 (1988) 1576. – reference: 7) K. Hoshikawa: Jpn. J. Appl. Phys. 21 (1982) L 545. – reference: 15) K. Kakimoto, M. Eguchi, H. Watanabe and T. Hibiya: J. Cryst. Growth 94 (1989) 412. – reference: 17) T. W. Hicks: J. Cryst. Growth 84 (1978) 598. |
| SSID | ssj0000579557 ssib000972243 ssib021063895 ssib002483696 ssib008070171 ssib002068223 |
| Score | 1.3501531 |
| Snippet | Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である.... |
| SourceID | jstage |
| SourceType | Publisher |
| StartPage | 1334 |
| Title | X線透視法によるSi融体の対流観察 |
| URI | https://www.jstage.jst.go.jp/article/oubutsu1932/58/9/58_9_1334/_article/-char/ja |
| Volume | 58 |
| hasFullText | 1 |
| inHoldings | 1 |
| isFullTextHit | |
| isPrint | |
| ispartofPNX | 応用物理, 1989/09/10, Vol.58(9), pp.1334-1339 |
| journalDatabaseRights | – providerCode: PRVAFT databaseName: Open Access Digital Library customDbUrl: eissn: 2188-2290 dateEnd: 20021231 omitProxy: true ssIdentifier: ssj0000579557 issn: 0369-8009 databaseCode: KQ8 dateStart: 19320101 isFulltext: true titleUrlDefault: http://grweb.coalliance.org/oadl/oadl.html providerName: Colorado Alliance of Research Libraries |
| link | http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwrV29b9NAFLdKERIL4lN8qwM3IReffWe_G8-po4oBCbWVslk5x5aaoa1osjDRTkgIMSBAYoCtCxIdKsQE_0xoCf8F753txJEytIgM1vPL87v37l38fnd5ZzvOA84LE2ZF4PYADE5QPOVCAML1fa8bgJfRfzVUbfEkXN0Qjzuys3DuQ6NqaTgwy9nzuftK_iWqyMO40i7ZM0R2ohQZSGN88YgRxuOpYtxhScTiiCnNEkU1C9BmCTAdMhWyJGRxwJRkSYBwkenYEj4DqIl4bZPEVcJghSWCxStMBbV4whLJdJvFidUkiVnqRq3lV2qmJpCYMTJbZJQSTAMRoJhWloPWTVYBSaVqkzgRLaZbFOqqIZJHY4CB15RHhrYmoEWxLuVRDP2W1h5sMZ6R59QEfoOdooNSXpJfqj1jRsS0JIIcEla_R31ay69YLYJsBT1dI6EisMl4tq1I8oIcjVGQCLQotr2IHDRgGg9B9sf64Wl6rLIBu50ua2GoG7fuIMQx73mlIbnlIZbC0euXL0etc4-Exm9MNRIJD6o13rw-VfMTnoioRHR7aIaD3SGh8WUJy9OrZx4lXg3UtCGdSkhVeaCL0lqE9vylfZx4nPcjhHBU7fC0gdtVhNCvgfO8EJo40xcweU8knQMmFj6dd_jcAmU5WQylHdGyfCpv3XPVNlfy79Ec7xAw9nH6VJdeWjS4ftm5VE3jlnTpxxVnod-96lyw5dTZ7jXH7fz-_vHPizfjg_cnR-9Ge19G-y9H-6_WNsefXv_68Xa09_X48OfJt73xwdHx4efrzkY7WW-tutWLSdy-zwPuRjkYwI8wWVeqTGGalKHhPWl6quj6OKcJoAhFzsHw0ECOObSgZJlTzVmON8EbzuLW9lZ-01kKRQaR8HNjIMCZCwLyHmJoXiCq93MvK245uvQz3SmfPpOePYi3_4OOO87FsrqSFh_vOouDZ8P8HsLxgblvh8ZfhB2tSg |
| linkProvider | Colorado Alliance of Research Libraries |
| openUrl | ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info%3Aofi%2Fenc%3AUTF-8&rfr_id=info%3Asid%2Fsummon.serialssolutions.com&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rft.genre=article&rft.atitle=X%E7%B7%9A%E9%80%8F%E8%A6%96%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8BSi%E8%9E%8D%E4%BD%93%E3%81%AE%E5%AF%BE%E6%B5%81%E8%A6%B3%E5%AF%9F&rft.jtitle=%E5%BF%9C%E7%94%A8%E7%89%A9%E7%90%86&rft.au=%E6%9F%BF%E6%9C%AC%2C+%E6%B5%A9%E4%B8%80&rft.au=%E6%B8%A1%E8%BE%BA%2C+%E4%B9%85%E5%A4%AB&rft.au=%E6%B1%9F%E5%8F%A3%2C+%E5%AE%9F&rft.au=%E6%97%A5%E6%AF%94%E8%B0%B7%2C+%E5%AD%9F%E4%BF%8A&rft.date=1989&rft.pub=%E5%85%AC%E7%9B%8A%E7%A4%BE%E5%9B%A3%E6%B3%95%E4%BA%BA+%E5%BF%9C%E7%94%A8%E7%89%A9%E7%90%86%E5%AD%A6%E4%BC%9A&rft.issn=0369-8009&rft.eissn=2188-2290&rft.volume=58&rft.issue=9&rft.spage=1334&rft.epage=1339&rft_id=info:doi/10.11470%2Foubutsu1932.58.1334&rft.externalDocID=article_oubutsu1932_58_9_58_9_1334_article_char_ja |
| thumbnail_l | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/lc.gif&issn=0369-8009&client=summon |
| thumbnail_m | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/mc.gif&issn=0369-8009&client=summon |
| thumbnail_s | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/sc.gif&issn=0369-8009&client=summon |