X線透視法によるSi融体の対流観察

Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である. Siのみならず溶融金属の対流についても,数値計算によるシミュレーションのみで実験的な理解は行われていないといえる.結晶育成装置にX線透視装置を装着することによリ, Si融体育の対流め観測が初めて可能になった,ここでは,X線透視法とトレーサー法を併用することにより観測したSi融体対流の研究結果について紹分し,数値シミュレーションとの対比, GaAs育成時のB2O3液体封止剤の対流観測結果,および固液界面形状のその場観測結果についても紹...

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Published in応用物理 Vol. 58; no. 9; pp. 1334 - 1339
Main Authors 柿本, 浩一, 渡辺, 久夫, 江口, 実, 日比谷, 孟俊
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 1989
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ISSN0369-8009
2188-2290
DOI10.11470/oubutsu1932.58.1334

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Summary:Si融体の対流は,単結晶内の不純物分布を左右することが経験的こはわかっているものの,観測手段が存在しなかったこともあって,ほとんど理解されていないのが現状である. Siのみならず溶融金属の対流についても,数値計算によるシミュレーションのみで実験的な理解は行われていないといえる.結晶育成装置にX線透視装置を装着することによリ, Si融体育の対流め観測が初めて可能になった,ここでは,X線透視法とトレーサー法を併用することにより観測したSi融体対流の研究結果について紹分し,数値シミュレーションとの対比, GaAs育成時のB2O3液体封止剤の対流観測結果,および固液界面形状のその場観測結果についても紹介する.
ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.58.1334