STEMの走査線と結晶格子によるモアレ縞による歪の計測
STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた．...
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| Published in | 顕微鏡 Vol. 49; no. 3; pp. 226 - 230 |
|---|---|
| Main Authors | , |
| Format | Journal Article |
| Language | Japanese |
| Published |
公益社団法人 日本顕微鏡学会
30.12.2014
|
| Subjects | |
| Online Access | Get full text |
| ISSN | 1349-0958 2434-2386 |
| DOI | 10.11410/kenbikyo.49.3_226 |
Cover
| Abstract | STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた． |
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| AbstractList | STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた． |
| Author | 近藤, 行人 遠藤, 徳明 |
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| Copyright | 2014 公益社団法人 日本顕微鏡学会 |
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| PublicationTitle | 顕微鏡 |
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| References | 10）遠藤徳明，近藤行人：第32回LSIテスティングシンポジウム予稿集，73–75（2012 7）Tsuda, K., Mitsuishi, Ha., Terauchi M. and Kawamura K.: J. Electron. Microsc., 56(2), 57–61 (2007) 3）Takayanagi, K. and Yagi, K.: Trans. Jap. Inst. Metal., 24(6), 337–348 (1983) 5）Nayak, D.K., Woo, J.C., Park, J.S., Wang, K.L. and MacWilliams, K.P.: Appl. Phys. Lett., 62(22), 2853–2855 (1993) 4）Su, D. and Zhu, Y.M.: Ultramicroscopy, 110(3), 229–233 (2010) 12）Ishizuka, K., Eilers, P.H.C. and Kogure, T.: Microscopy Today Sept., 16–20 (2007) 6）Usuda, K., Numata, T., Irisawa, T., Hirashita, N. and Takagi S.: Mat. Sci. Eng. B, 124, 143–147 (2005) 11）Kim, S., Lee, S., Oshima, Y., Kondo, Y., Okunishi, E., Endo, N., Jung, J., Byun, G., Lee, S. and Lee, K.: Appl. Phys. Lett., 102, 161604 (2013) 1）Basset, G.A., Menter, J.W. and Pashley, D.W.: Proc. R. Sco. Lond., A19 246 (1246), 345–368 (1958) 2）Honjo, G. and Yagi, K.: J. Vac. Sci. Tech., 6(4), 576–582 (1969) 8）Hytch, M.J., Houdellier, F., Hue, F. and Snoeck, E.: Nature, 453, 1086–1089 (2008) 9）Hytch, M.J., Snoeck E. and Kilaas R.: Ultramicroscopy, 74, 131–146 (1998) |
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| StartPage | 226 |
| SubjectTerms | モアレ 位相解析 歪 歪素子 走査透過顕微鏡 |
| Title | STEMの走査線と結晶格子によるモアレ縞による歪の計測 |
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