STEMの走査線と結晶格子によるモアレ縞による歪の計測

STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた．...

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Bibliographic Details
Published in顕微鏡 Vol. 49; no. 3; pp. 226 - 230
Main Authors 遠藤, 徳明, 近藤, 行人
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本顕微鏡学会 30.12.2014
Subjects
モアレ
位相解析
歪
歪素子
走査透過顕微鏡
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ISSN1349-0958
2434-2386
DOI10.11410/kenbikyo.49.3_226

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Summary:STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた．
ISSN:1349-0958
2434-2386
DOI:10.11410/kenbikyo.49.3_226