収差補正STEM-EDSによる原子分解能マッピング

収差補正STEMの登場によりEELSと組み合わせた原子分解能マッピングによる原子コラム分析が多く報告されている．一方EDSにおいてはその検出立体角の低さから原子コラムマッピングは困難な場合が多い．最近この検出立体角を向上させた100 mm2SDDが新しい検出器として開発された．本研究では100 mm2SDDを用い，SrTiO3，RB3021といった酸化物材料から原子コラムマップを取得したので報告する．...

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Bibliographic Details
Published in顕微鏡 Vol. 47; no. 3; pp. 172 - 175
Main Authors 奥西, 栄治, 大西, 市朗
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本顕微鏡学会 30.09.2012
Subjects
エネルギー分散型X線分光
シリコンドリフト検出器
原子分解能
収差補正STEM
大立体角
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ISSN1349-0958
2434-2386
DOI10.11410/kenbikyo.47.3_172

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Summary:収差補正STEMの登場によりEELSと組み合わせた原子分解能マッピングによる原子コラム分析が多く報告されている．一方EDSにおいてはその検出立体角の低さから原子コラムマッピングは困難な場合が多い．最近この検出立体角を向上させた100 mm2SDDが新しい検出器として開発された．本研究では100 mm2SDDを用い，SrTiO3，RB3021といった酸化物材料から原子コラムマップを取得したので報告する．
ISSN:1349-0958
2434-2386
DOI:10.11410/kenbikyo.47.3_172