原子間力顕微鏡法を用いたLSI用Cu配線の腐食挙動解析

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Published in表面技術 Vol. 59; no. 7; p. 470
Main Authors 馬渕, 勝美, 本棒, 享子, 山田, 真治
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 表面技術協会 2008
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ISSN0915-1869
1884-3409
DOI10.4139/sfj.59.470

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ISSN:0915-1869
1884-3409
DOI:10.4139/sfj.59.470