次世代メートルサイズ大面積プロセス用プラズマ源

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Published inプラズマ・核融合学会誌 Vol. 81; no. 2; pp. 85 - 93
Main Author 節原, 裕一
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 社団法人 プラズマ・核融合学会 2005
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ISSN0918-7928
DOI10.1585/jspf.81.85

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ISSN:0918-7928
DOI:10.1585/jspf.81.85