本多, 歩., X., L., 北嶋, 孝., 楠山, 純., 岩橋, 伸., 伊東, 利., . . . H., S. A. (2017). 大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発(第2報:切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討). 日本機械学会論文集, 83(852), 17-00102. https://doi.org/10.1299/transjsme.17-00102
Chicago Style (17th ed.) Citation本多, 歩, Lu X., 孝之 北嶋, 純平 楠山, 伸太郎 岩橋, 利洋 伊東, 明紀 由井, and Slocum A. H. "大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発(第2報:切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討)." 日本機械学会論文集 83, no. 852 (2017): 17-00102. https://doi.org/10.1299/transjsme.17-00102.
MLA (9th ed.) Citation本多, 歩, et al. "大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発(第2報:切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討)." 日本機械学会論文集, vol. 83, no. 852, 2017, pp. 17-00102, https://doi.org/10.1299/transjsme.17-00102.
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