Si融液対流の三次元観察

ダブルビームX線透視法を新たに開発し,チョクラルスキー (CZ) 法によるSi単結晶育成時の, Si融液対流の三次元可視化観察を行った.三次元可視化は,ステレオ写真法に基づいて行った.ここでは,このダブルビームX線透視法の紹介と, Si融液対流のうち軸対称流についての観察結果,および流速を解析した結果について述べる.流速の解析結果から,結晶下部ではるつぼ回転よりも速い周方向速度をもつこと,るつぼ壁近傍では周方向速度は非常に遅くなり,さらにるつぼ回転と逆方向に流れる場合もあることが明らかとなった.すなわちるつぼ内のSi融液は,周方向に剛体回転をしていないことを示している....

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Published in応用物理 Vol. 60; no. 8; pp. 799 - 803
Main Authors 日比谷, 孟俊, 江口, 実, 渡辺, 匡人, 柿本, 浩一
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 応用物理学会 1991
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ISSN0369-8009
2188-2290
DOI10.11470/oubutsu1932.60.799

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Summary:ダブルビームX線透視法を新たに開発し,チョクラルスキー (CZ) 法によるSi単結晶育成時の, Si融液対流の三次元可視化観察を行った.三次元可視化は,ステレオ写真法に基づいて行った.ここでは,このダブルビームX線透視法の紹介と, Si融液対流のうち軸対称流についての観察結果,および流速を解析した結果について述べる.流速の解析結果から,結晶下部ではるつぼ回転よりも速い周方向速度をもつこと,るつぼ壁近傍では周方向速度は非常に遅くなり,さらにるつぼ回転と逆方向に流れる場合もあることが明らかとなった.すなわちるつぼ内のSi融液は,周方向に剛体回転をしていないことを示している.
ISSN:0369-8009
2188-2290
DOI:10.11470/oubutsu1932.60.799