拡張ドルーデモデルによるITOの膜厚解析
液晶デバイスにおいて、ガラス基板上に透明電極や配向膜等が所望の厚さになるように制御されているか評価することは重要である。実験データとフィッティングすることにより膜厚を決定する際に最適な光学モデルについての検討を行い、その膜厚解析結果を報告する。...
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          | Published in | 日本液晶学会討論会講演予稿集 p. 197 | 
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| Main Authors | , , | 
| Format | Journal Article | 
| Language | Japanese | 
| Published | 
            一般社団法人 日本液晶学会
    
        2007
     | 
| Subjects | |
| Online Access | Get full text | 
| ISSN | 1880-3490 2432-5988  | 
| DOI | 10.11538/ekitou.2007.0.197.0 | 
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| Summary: | 液晶デバイスにおいて、ガラス基板上に透明電極や配向膜等が所望の厚さになるように制御されているか評価することは重要である。実験データとフィッティングすることにより膜厚を決定する際に最適な光学モデルについての検討を行い、その膜厚解析結果を報告する。 | 
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| Bibliography: | PB03 | 
| ISSN: | 1880-3490 2432-5988  | 
| DOI: | 10.11538/ekitou.2007.0.197.0 |