拡張ドルーデモデルによるITOの膜厚解析

液晶デバイスにおいて、ガラス基板上に透明電極や配向膜等が所望の厚さになるように制御されているか評価することは重要である。実験データとフィッティングすることにより膜厚を決定する際に最適な光学モデルについての検討を行い、その膜厚解析結果を報告する。...

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Published in日本液晶学会討論会講演予稿集 p. 197
Main Authors 木村, 宗弘, 赤羽, 正志, 吉田, 諒
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本液晶学会 2007
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ISSN1880-3490
2432-5988
DOI10.11538/ekitou.2007.0.197.0

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Summary:液晶デバイスにおいて、ガラス基板上に透明電極や配向膜等が所望の厚さになるように制御されているか評価することは重要である。実験データとフィッティングすることにより膜厚を決定する際に最適な光学モデルについての検討を行い、その膜厚解析結果を報告する。
Bibliography:PB03
ISSN:1880-3490
2432-5988
DOI:10.11538/ekitou.2007.0.197.0