200°C以上での SiC 駆動を想定したAl ワイヤーボンディング信頼性

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Published inスマートプロセス学会誌 Vol. 2; no. 4; pp. 152 - 159
Main Authors 谷本, 智, 佐藤, 伸二, 谷澤, 秀和, 松井, 康平, 佐々木, 健介, 村上, 善則, 渡辺, 衣世
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 スマートプロセス学会 （旧高温学会） 20.07.2013
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ISSN2186-702X
2187-1337
DOI10.7791/jspmee.2.152

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ISSN:2186-702X
2187-1337
DOI:10.7791/jspmee.2.152