国友, 裕., 村山, 健., 森本, 高., & 保坂, 純. (2006). 大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第2報, 0.1nm分解能と25mm広域走査の両立. 日本機械学会論文集 C編, 72(717), 1538-1543. https://doi.org/10.1299/kikaic.72.1538
Chicago Style (17th ed.) Citation国友, 裕一, 健 村山, 高史 森本, and 純男 保坂. "大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第2報, 0.1nm分解能と25mm広域走査の両立." 日本機械学会論文集 C編 72, no. 717 (2006): 1538-1543. https://doi.org/10.1299/kikaic.72.1538.
MLA (9th ed.) Citation国友, 裕一, et al. "大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第2報, 0.1nm分解能と25mm広域走査の両立." 日本機械学会論文集 C編, vol. 72, no. 717, 2006, pp. 1538-1543, https://doi.org/10.1299/kikaic.72.1538.
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