大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 第2報, 0.1nm分解能と25mm広域走査の両立

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Published in日本機械学会論文集 C編 Vol. 72; no. 717; pp. 1538 - 1543
Main Authors 国友, 裕一, 村山, 健, 森本, 高史, 保坂, 純男
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 25.05.2006
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ISSN0387-5024
1884-8354
DOI10.1299/kikaic.72.1538

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ISSN:0387-5024
1884-8354
DOI:10.1299/kikaic.72.1538