電気化学インピーダンス法による銀配線における エレクトロケミカルマイグレーションの成長過程評価 温度および電圧依存性の検討

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Published in表面技術 Vol. 63; no. 11; pp. 694 - 699
Main Authors 星, 芳直, 板垣, 昌幸, 四反田, 功, 井上, 和也, 山元, 克浩
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 表面技術協会 01.11.2012
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ISSN0915-1869
1884-3409
DOI10.4139/sfj.63.694

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ISSN:0915-1869
1884-3409
DOI:10.4139/sfj.63.694