Kinetic Monte Carlo法によるAl薄膜成長における島形成過程の解析

Saved in:
Bibliographic Details
Published in日本機械学会論文集 A編 Vol. 73; no. 728; pp. 490 - 497
Main Authors 山本, 昌裕, 尾方, 成信, 國澤, 康平, 藤並, 明徳, 渋谷, 陽二
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 25.04.2007
Online AccessGet full text
ISSN0387-5008
1884-8338
DOI10.1299/kikaia.73.490

Cover

More Information
ISSN:0387-5008
1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.73.490