一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计

TN29; 光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用.随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求.文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器.借助Lumerical FDTD和DEVICE软件进行建模仿真,通过对波导结构以及探测器尺寸进行设计,最终该结构在1550 nm波长和-1 V偏压下,响应度高达0.97 A/W,光电流线性输出>30 mA,3 dB带宽高达28 GHz....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published inGuangtongxin Yanjiu no. 3; pp. 26 - 30
Main Authors 马鹏程, 孙思维, 刘丰满, 薛海韵, 孙瑜, 何慧敏, 李志雄, 曹立强
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院微电子研究所,北京 100029 2019
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,江苏 无锡 214135
中国科学院大学,北京 100049
中国科学院大学,北京 100049%中国科学院微电子研究所,北京 100029
《光通信研究》编辑部
Subjects
光通信;氮化硅波导;硅基锗;单行载流子光电探测器
光通信
硅基锗
单行载流子光电探测器
氮化硅波导
Online AccessGet full text
ISSN1005-8788
DOI10.13756/j.gtxyj.2019.03.006

Cover

More Information
Summary:TN29; 光电探测器作为光通信系统的核心器件之一,其性能对通信质量起着决定性的作用.随着光通信数据量的剧增,传统的光电探测器已经不能满足需求.文章提出一种集成氮化硅波导的高性能硅基锗单行载流子光电探测器.借助Lumerical FDTD和DEVICE软件进行建模仿真,通过对波导结构以及探测器尺寸进行设计,最终该结构在1550 nm波长和-1 V偏压下,响应度高达0.97 A/W,光电流线性输出>30 mA,3 dB带宽高达28 GHz.
ISSN:1005-8788
DOI:10.13756/j.gtxyj.2019.03.006