光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响

在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L2/R=λ（λ为照明光波长）时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致....

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Published inHong wai yu hao mi bo xue bao Vol. 28; no. 4; pp. 249 - 253
Main Author 高杰 张青川 陈大鹏 焦斌斌 史海涛 钱剑 程腾 伍小平
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥,230027%中国科学院微电子研究所,北京,100029 2009
Subjects
光学读出
双材料微悬臂梁
焦平面阵列
非制冷红外成像
非制冷红外成像
uncooled infrared imaging
双材料微悬臂梁
焦平面阵列
optical readout
FPA
光学读出
bi-microcantilever
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ISSN1001-9014
DOI10.3321/j.issn:1001-9014.2009.04.003

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Summary:在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L2/R=λ（λ为照明光波长）时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致.
Bibliography:uncooled infrared imaging; bi-microcantilever; optical readout; FPA
uncooled infrared imaging
31-1577/TN
optical readout
FPA
bi-microcantilever
TN216
ISSN:1001-9014
DOI:10.3321/j.issn:1001-9014.2009.04.003