Staff View: Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Kotěna, Jan (Dissertant)
Other Authors:	Minařík, Antonín (Thesis advisor)
Format:	Manuscript
Language:	Czech
Published:	2014
Subjects:	teplotní spád křemík anizotropní leptání KOH AFM SEM prvková analýza temperature gradient silicon anisotropic etching element analysis diplomová práce
Physical Description:	108 s. (115 463 znaků)


LEADER	01389ntm a22004097u 4500
001	zp34515
041			\|a cze
100	1		\|a Kotěna, Jan \|4 dis
245	1	0	\|a Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku
246			\|a Preparation and Characterization of Silicon-based Structured Surfaces
260			\|c 2014
300			\|a 108 s. (115 463 znaků)
500			\|a Studijní obor: Materiálové inženýrství
500			\|a Studijní obor: Materials Engineering
500			\|a Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
500			\|a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
500			\|a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
506			\|a Bez omezení
653			\|a teplotní spád
653			\|a křemík
653			\|a anizotropní leptání
653			\|a KOH
653			\|a AFM
653			\|a SEM
653			\|a prvková analýza
653			\|a temperature gradient
653			\|a silicon
653			\|a anisotropic etching
653			\|a KOH
653			\|a AFM
653			\|a SEM
653			\|a element analysis
655		4	\|a diplomová práce
700	1		\|a Minařík, Antonín \|4 ths
710	2		\|a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická \|4 dgg
710	2		\|a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology \|4 dgg
856	4	0	\|u http://hdl.handle.net/10563/28787 \|y Plný text v Digitální knihovně UTB