Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Šuranský, Martin (Dissertant)
Other Authors: Sedláček, Tomáš (Thesis advisor)
Format: Manuscript
Language: Czech
Published: 2012
Subjects:
Physical Description: 65 s. (97 780 znaků)

Cover

LEADER 01303ntm a22003377u 4500
001 zp27231
041 |a cze 
100 1 |a Šuranský, Martin  |4 dis 
245 1 0 |a Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření 
246 |a Ultrathin Layer Deposition Employing Plasma and Methods of Their Measurement 
260 |c 2012 
300 |a 65 s. (97 780 znaků) 
500 |a Studijní obor: Chemie a technologie materiálů 
500 |a Studijní obor: Chemistry and Materials Technology 
500 |a Ústav: Ústav inženýrství polymerů 
500 |a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická 
500 |a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology 
506 |a Bez omezení 
653 |a plazma 
653 |a plazmatické technologie 
653 |a tenké vrstvy 
653 |a zdroje atmosférického plazmatu 
653 |a Plasma 
653 |a Plasma technology 
653 |a Thin layers 
653 |a Atmospheric plasma sources 
655 4 |a bakalářská práce 
700 1 |a Sedláček, Tomáš  |4 ths 
710 2 |a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická  |4 dgg 
710 2 |a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology  |4 dgg 
856 4 0 |u http://hdl.handle.net/10563/23123  |y Plný text v Digitální knihovně UTB