Staff View: Lecture notes on principles of plasma processing

Lecture notes on principles of plasma processing

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Chen, Francis F., 1929- (Author), Chang, Jane P., 1970- (Author)
Format:	Book
Language:	English
Published:	New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003
Subjects:	plazma (fyzika) fyzika plazmatu chemie plazmatu plasma (ionized gases) plasma physics plasma chemistry učebnice vysokých škol textbooks (higher)
ISBN:	0306474972 978-0-306-47497-2
Physical Description:	ix, 208 s. : il. ; 28 cm + 1 CD-ROM


LEADER	01572cam a2200409 a 4500
001	61110
003	CZ ZlUTB
005	20240829144513.0
007	ta
008	030512s2003 xxua e p 000 0 eng d
020			\|a 0306474972 \|q (brož.)
020			\|a 978-0-306-47497-2 \|q (brož.)
040			\|a BOD004 \|b cze \|d BOD004 \|d ZLD002
072		7	\|a 533 \|x Mechanika plynů. Aeromechanika. Fyzika plazmatu \|2 Konspekt \|9 6
072		7	\|a 37.016 \|x Učební osnovy. Vyučovací předměty. Učebnice \|2 Konspekt \|9 22
080			\|a 544.55 \|2 MRF
080			\|a 533.9 \|2 MRF
080			\|a (075.8) \|2 MRF
100	1		\|a Chen, Francis F., \|d 1929- \|7 xx0015793 \|4 aut
245	1	0	\|a Lecture notes on principles of plasma processing / \|c Francis F. Chen and Jane P. Chang
260			\|a New York : \|b Kluwer Academic/Plenum Publishers, \|c c2003
300			\|a ix, 208 s. : \|b il. ; \|c 28 cm + \|e 1 CD-ROM
500			\|a Dotisk bez CD
650	0	7	\|a plazma (fyzika) \|7 ph215328 \|2 czenas
650	0	7	\|a fyzika plazmatu \|7 ph120429 \|2 czenas
650	0	7	\|a chemie plazmatu \|7 ph138180 \|2 czenas
650	0	9	\|a plasma (ionized gases) \|2 eczenas
650	0	9	\|a plasma physics \|2 eczenas
650	0	9	\|a plasma chemistry \|2 eczenas
655		7	\|a učebnice vysokých škol \|7 fd133772 \|2 czenas
655		9	\|a textbooks (higher) \|2 eczenas
700	1		\|a Chang, Jane P., \|d 1970- \|7 utb2011660573 \|4 aut
910			\|a ZLD002
992			\|a BK \|b SK
998			\|a 004132886
999			\|c 61110 \|d 61110
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 533CHENFF \|7 0 \|8 BOOK \|9 111576 \|a UTBZL \|b UTBZL \|c 005 \|d 2011-09-21 \|o 533/CHEN,F.F. \|p 420010140022 \|r 2019-08-26 \|v 2973.00 \|w 2019-08-26 \|x N: nákup; \|x 20100831 \|y 01