Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Madou, Marc J., 1953- (Author)
Format: Book
Language: English
Published: Boca Raton : CRC Press, c2012
Edition: 3rd ed.
Subjects:
mikrotechnologie
nanotechnologie
mikroelektronika
mikroelektromechanické systémy
nanomateriály
microtechnology
nanotechnology
microelectronics
microelectromechanical systems
nanostructure materials
příručky
handbooks, manuals, etc
ISBN: 9780849331800
978-1-4200-5511-5
978-1-4200-5519-1
978-1-4200-5516-0
Physical Description: 3 sv. : il. (převáž. barev.), 29 cm

Cover

Table of contents

LEADER 02590cam a2200541 a 4500
001 61106
003 CZ ZlUTB
005 20240829144512.0
007 ta
008 081001s2012 xxua 001 0 eng d
020 |a 9780849331800  |q (set) 
020 |a 978-1-4200-5511-5  |q (sv. 1 :  |q váz.) 
020 |a 978-1-4200-5519-1  |q (sv. 2 :  |q váz.) 
020 |a 978-1-4200-5516-0  |q (sv. 3 :  |q váz.) 
040 |a StDuBDS  |b eng  |c StDuBDS  |d Uk  |d ZLD002 
072 7 |a 62  |x Technika všeobecně  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 62-022.53  |2 MRF 
080 |a 62-022.532  |2 MRF 
080 |a 621.38.049.77  |2 MRF 
080 |a 621.38.049.77-022.53  |2 MRF 
080 |a 620.2-022.532  |2 MRF 
080 |a (035)  |2 MRF 
100 1 |a Madou, Marc J.,  |d 1953-  |7 utb2011660611  |4 aut 
245 1 0 |a Fundamentals of microfabrication and nanotechnology /  |c Marc J. Madou 
250 |a 3rd ed. 
260 |a Boca Raton :  |b CRC Press,  |c c2012 
300 |a 3 sv. :  |b il. (převáž. barev.),  |c 29 cm 
500 |a Původně vydáno pod názvem: Fundamentals of microfabrication 
504 |a Obsahuje bibliografie a rejstříky 
505 0 |a sv. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology. xiii, 641 s. -- sv. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology. xiii, 656 s. -- sv. 3. From MEMS to bio-MEMS and bio-NEMS : manufacturing techniques and applications. xiii, 636 s. 
650 0 7 |a mikrotechnologie  |7 ph319509  |2 czenas 
650 0 7 |a nanotechnologie  |7 ph123164  |2 czenas 
650 0 7 |a mikroelektronika  |7 ph122849  |2 czenas 
650 0 7 |a mikroelektromechanické systémy  |7 ph602137  |2 czenas 
650 0 7 |a nanomateriály  |7 ph138053  |2 czenas 
650 0 9 |a microtechnology  |2 eczenas 
650 0 9 |a nanotechnology  |2 eczenas 
650 0 9 |a microelectronics  |2 eczenas 
650 0 9 |a microelectromechanical systems  |2 eczenas 
650 0 9 |a nanostructure materials  |2 eczenas 
655 7 |a příručky  |7 fd133209  |2 czenas 
655 9 |a handbooks, manuals, etc  |2 eczenas 
910 |a ZLD002  |s 1-3 
992 |a BK  |b SK 
999 |c 61106  |d 61106 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62MADOUMJ  |7 0  |8 BOOK  |9 111569  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 005  |d 2011-09-21  |h 1. díl  |o 62/MADOU,M.J.  |p 420010139879  |r 2019-08-26  |v 1340.00  |w 2019-08-26  |x N:nákup;  |x 20100831  |y 01 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62MADOUMJ  |7 0  |8 BOOK  |9 111570  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 005  |d 2011-09-21  |h 2. díl  |o 62/MADOU,M.J.  |p 420010139880  |r 2019-08-26  |v 1340.00  |w 2019-08-26  |x N:nákup;  |x 20100831  |y 01 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62MADOUMJ  |7 0  |8 BOOK  |9 111571  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 005  |d 2011-09-21  |h 3. díl  |o 62/MADOU,M.J.  |p 420010139881  |r 2019-08-26  |v 1335.00  |w 2019-08-26  |x N:nákup;  |x 20100831  |y 01 

Similar Items