Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

• Main Author: Madou, Marc J., 1953- (Author)
• Format: Book
• Language: English
• Published: Boca Raton : CRC Press, c2012
• Edition: 3rd ed.
• Subjects: mikrotechnologie; nanotechnologie; mikroelektronika; mikroelektromechanické systémy; nanomateriály; microtechnology; nanotechnology; microelectronics; microelectromechanical systems; nanostructure materials; příručky; handbooks, manuals, etc
• ISBN: 9780849331800; 978-1-4200-5511-5; 978-1-4200-5519-1; 978-1-4200-5516-0
• Physical Description: 3 sv. : il. (převáž. barev.), 29 cm
• Item Description: Původně vydáno pod názvem: Fundamentals of microfabrication