3D and circuit integration of MEMS

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Esashi, Masayoshi, 1949- (Author)
Format: eBook
Language: English
Published: Weinheim : Wiley-VCH, 2021.
Subjects:
mikroelektromechanické systémy
integrované obvody
křemík
microelectromechanical systems
integrated circuits
silicon
elektronické knihy
kolektivní monografie
electronic books
collective monographs
ISBN: 9783527823239
9783527823253
9783527823246
9783527346479
Physical Description: 1 online zdroj

Cover

Table of contents

LEADER 02125cam a2200541 i 4500
001 107912
003 CZ-ZlUTB
005 20230606091152.0
006 m o d
007 cr |||||||||||
008 201211s2021 gw fo 000 0 eng d
999 |c 107912  |d 107912 
020 |a 9783527823239  |q (electronic bk. ;  |q oBook) 
020 |a 9783527823253  |q (e-book) 
020 |a 9783527823246  |q (ePub ebook) 
020 |z 9783527346479  |q (hbk.) 
024 7 |a 10.1002/9783527823239  |2 doi 
035 |a (OCoLC)1245419748 
040 |a UKAHL  |b eng  |e rda  |c UKAHL  |d OCLCO  |d UKMGB  |d OCLCO  |d DG1  |d OCLCF  |d UKAHL  |d CNO  |d OCLCQ  |d OCLCO  |d OCLCQ  |d UPM  |d OCLCQ 
072 7 |a 621.38  |x Elektronika  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 621.38.049.77-022.53  |2 MRF 
080 |a 621.3.049.77  |2 MRF 
080 |a 546.28  |2 MRF 
080 |a (0.034.2:08)  |2 MRF 
080 |a (048.8:082)  |2 MRF 
100 1 |a Esashi, Masayoshi,  |d 1949-  |e author. 
245 1 0 |a 3D and circuit integration of MEMS /  |c Masayoshi Esashi. 
264 1 |a Weinheim :  |b Wiley-VCH,  |c 2021. 
300 |a 1 online zdroj 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a počítač  |b c  |2 rdamedia 
338 |a online zdroj  |b cr  |2 rdacarrier 
506 |a Plný text je dostupný pouze z IP adres počítačů Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně nebo vzdáleným přístupem pro zaměstnance a studenty univerzity 
590 |a John Wiley and Sons  |b Wiley Online Library: Complete oBooks 
650 0 7 |a mikroelektromechanické systémy  |7 ph602137  |2 czenas 
650 0 7 |a integrované obvody  |7 ph114781  |2 czenas 
650 0 7 |a křemík  |7 ph122083  |2 czenas 
650 0 9 |a microelectromechanical systems  |2 eczenas 
650 0 9 |a integrated circuits  |2 eczenas 
650 0 9 |a silicon  |2 eczenas 
655 7 |a elektronické knihy  |7 fd186907  |2 czenas 
655 7 |a kolektivní monografie  |7 fd501537   |2 czenas 
655 9 |a electronic books  |2 eczenas 
655 9 |a collective monographs  |2 eczenas 
776 0 8 |i Print version :  |z 9783527346479 
856 4 0 |u https://proxy.k.utb.cz/login?url=https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9783527823239  |y Plný text 
942 |2 udc 
992 |c EBOOK-TN  |c WILEY 

Similar Items