基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强

TN407; 传统的脉冲激光时域热反射系统通常基于远场光学设计,对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率约在3μm～10μm范围,不足以满足先进微电子器件和芯片的热物性测试要求.基于近场光学原理,本文研究了提升时域热反射系统空间分辨率的新颖技术方法,并建立了相应的实验系统.实验获得的微纳结构样品测量数据表明,基于近场技术的时域热反射系统对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率可提升到1μm.该技术为微电子器件热设计和纳米尺度热输运机理研究提供了有效的实验手段....

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Bibliographic Details
Published in测试技术学报 Vol. 36; no. 1; pp. 73 - 79
Main Authors 刘燕, 张超, 郑利兵, 王大正, 孙方远, 刘珠明
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院大学,北京 100049%中国科学院 电工研究所,北京 100190%北京科技大学 能源与环境工程学院,北京 100083 2022
中国科学院 电工研究所,北京 100190
冶金工业节能减排北京市重点实验室,北京 100083%广东省科学院 半导体研究所,广东 广州 510650
Subjects
近场探针;时域热反射;空间分辨率;微纳尺度热物性;界面热阻
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ISSN1671-7449
DOI10.3969/j.issn.1671-7449.2022.01.013

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Summary:TN407; 传统的脉冲激光时域热反射系统通常基于远场光学设计,对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率约在3μm～10μm范围,不足以满足先进微电子器件和芯片的热物性测试要求.基于近场光学原理,本文研究了提升时域热反射系统空间分辨率的新颖技术方法,并建立了相应的实验系统.实验获得的微纳结构样品测量数据表明,基于近场技术的时域热反射系统对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率可提升到1μm.该技术为微电子器件热设计和纳米尺度热输运机理研究提供了有效的实验手段.
ISSN:1671-7449
DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2022.01.013