两相驱动的压电行波微马达结构与制备方法

本发明公开了一种两相驱动的压电行波微马达结构与制备方法,属于微马达领域,包括:分区设置的压电陶瓷薄膜、分区设置的上电极和分区设置的下电极,在相应分区上,相应分区的上电极和下电极分别与相应压电陶瓷薄膜连接;压电陶瓷薄膜的极化特性可以相同也可以不同;在相同时,第一块压电陶瓷薄膜接上电极接sin信号,下电极接GND,第二块压电陶瓷薄膜接上电极接cos信号,下电极接GND,第三块压电陶瓷薄膜接上电极接GND,下电极接sin信号,第四块压电陶瓷薄膜接上电极接GND,下电极接cos信号,一个周期内的四块压电薄膜接线即是如此,其它周期阵列重复,顺序一样。本发明降低了驱动电路的体积和功耗,易批量制作。...

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Format Patent
LanguageChinese
Published 12.09.2025
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Summary:本发明公开了一种两相驱动的压电行波微马达结构与制备方法,属于微马达领域,包括:分区设置的压电陶瓷薄膜、分区设置的上电极和分区设置的下电极,在相应分区上,相应分区的上电极和下电极分别与相应压电陶瓷薄膜连接;压电陶瓷薄膜的极化特性可以相同也可以不同;在相同时,第一块压电陶瓷薄膜接上电极接sin信号,下电极接GND,第二块压电陶瓷薄膜接上电极接cos信号,下电极接GND,第三块压电陶瓷薄膜接上电极接GND,下电极接sin信号,第四块压电陶瓷薄膜接上电极接GND,下电极接cos信号,一个周期内的四块压电薄膜接线即是如此,其它周期阵列重复,顺序一样。本发明降低了驱动电路的体积和功耗,易批量制作。
Bibliography:Application Number: CN202510788789