两相驱动的压电行波微马达结构与制备方法 (2025)
本发明公开了一种两相驱动的压电行波微马达结构与制备方法，属于微马达领域，包括：分区设置的压电陶瓷薄膜、分区设置的上电极和分区设置的下电极，在相应分区上，相应分区的上电极和下电极分别与相应压电陶瓷薄膜连接；压电陶瓷薄膜的极化特性可以相同也可以不同；在相同时，第一块压电陶瓷薄膜接上电极接sin信号，下电极接GND，第二块压电陶瓷薄膜接上电极接cos信号，下电极接GND，第三块压电陶瓷薄膜接上电极接GND，下电极接sin信号，第四块压电陶瓷薄膜接上电极接GND，下电极接cos信号，一个周期内的四块压电薄膜接线即是如此，其它周期阵列重复，顺序一样。本发明降低了驱动电路的体积和功耗，易批量制作。