同步辐射扫描透射X射线显微成像系统振动的闭环控制方法研究 - 姚镇; 焦禹晨; 赵波; 孙天啸; 张宇飞; 郭智; 王勇; 许子健; 李海涛; 刘海岗; 张祥志; 邰仁忠 (核技术, 2024)
Keywords: STXM; Laser interferometer; Piezoelectric motor; 闭环控制; FPGA; 振动抑制; Vibration suppression; 激光干涉仪; 压电电机; Closed-loop control